第301章 研发中的第四代光刻机(2 / 2)

科技霸权 秒速九光年 1264 字 2个月前

算完,配套软件,设备检修,各种耗材,也是要花钱从霓虹人手里买。

总而言之,佳能和尼康是极其厉害的企业,光学领域扛鼎的存在,却依然惨败给荷兰ASML,足以看出这个行业的门槛不是高,而是高到了天上。

荷兰ASML也不是什么无名小卒,它们的前身是大名鼎鼎的飞利浦光学,他们用的物镜,来自全球镜片领域第一大牛,德国卡尔.蔡司。

可以说,集合整个欧洲,再加上一部分北美的力量,才搞出了ASML这个怪物。

在过去,ASML是没有对手的,直到星辰科技出现。

罗佳异想天开,决定弯道超车,绕过由紫外光,深紫外光,极紫外光组成的前三代核心技术,直接进入光刻机的第四代,超紫外混合激光,这其中的难度,外行人是永远无法明白的。

唰~

温成岭正思考着,实验室的密封门忽然在他面前打开了。

他笑了笑,在进入实验室之前对罗佳认真的说道:“罗总,我的专业是激光,也自信能够搞定光刻机的光源问题,但您应该也知道,一台光刻机仅仅有光源是不够的,其他数以千计的核心零部件,我可就无能为力了。”

这算是给罗佳打预防针了,他说这话的意思是,我能帮你把超紫外混合激光搞出来,但激光之外的事情,我也是无能为力,还要看星辰科技自己的力量。

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罗佳只是点头笑了笑,并没有说什么。

两个人很快来到这台机器跟前,罗佳淡淡的说,“这就是我们的初代机,它共分为十三大结构,分别是激光发生器,光束矫正器,能量控制器,光束形状调整器,遮光器,能量探测器,掩膜版,掩膜台,物镜,测量台,曝光台,封闭框架,磁悬浮减震。”

罗佳指着机器,介绍这台复杂的组成。

虽然听名字似乎很简单,但就算用脚后跟想也能明白,作为半导体行业的王冠,又怎么可能简单呢。

就拿这台光刻机的物镜来说,如果你以为那是一个类似单反镜头东西,那就完全错了。

ASML公司EUV型光刻机采用的物镜,高达一米八四,宽度接近七十公分,是德国光学巨头卡尔.蔡司集团,与激光巨头亚琛集团联合制造的。

物镜多少钱?

抱歉,无论罗佳掏多少钱,都买不到这套物镜。

从成本的角度估算,这套物镜的成本应该在一千万美元左右,其复杂程度和精确程度,足以被写入光学发展史。

罗佳给温成岭看的,就是这么个东西,它巨大而精密,充满科幻电影般的未来感。

而且ASML的EUV是第三代,罗佳这个是第四代,超紫外光,技术复杂程度还要更高。

“你们...竟然已经做到了这种程度!?”温成岭激动的瞪大眼睛,发出不可思议的声音。

刚才距离远,又隔着玻璃,所以没太看清楚,还以为是个样子货。

如今走进无尘实验室里,温成岭才恍然发觉,这台四代光刻机的完成度,已经如此之高!

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